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屹立芯創交付晶圓級真空貼壓膜系統:國產高端裝備助力先進封裝良率躍升
發布時間:2025/08/05 10:04

值此八月啟新之際,國內半導體封裝裝備領域傳來捷報——屹立芯創自主研發的晶圓級真空貼壓膜系統正

式交付行業標桿客戶!這不僅標志著公司在“為中國芯造屹立器”道路上邁出堅實一步,更彰顯了國產高

端封裝設備在核心工藝環節的突破性進展。


晶圓級真空貼壓膜系統


直擊痛點:破解先進封裝“氣泡”困局


在追求更高集成度、更小線寬的先進封裝領域(如Fan-Out, 2.5D/3D IC, Chiplet),晶圓級貼膜是前道關

鍵工藝。傳統常壓貼膜極易引入微小氣泡,導致后續工藝(如曝光、蝕刻、電鍍)缺陷,嚴重制約產品良

率與可靠性。屹立芯創深諳此道,憑借在先進封裝除泡技術領域的深厚積淀,精準對標國際前沿,推出革命

性的真空貼壓膜解決方案。


先進封裝除泡工藝


技術制勝:硬核實力鑄就高良率基石


屹立芯創晶圓級真空貼壓膜系統,集多項核心專利與創新設計于一身,為高良率封裝提供堅實保障:


1.專利真空貼壓膜技術: 核心突破!在高潔凈真空環境下完成貼膜,從根源上杜絕氣泡產生,確保極佳的

填覆率,為后續工藝掃清障礙。

2.專利軟墊氣囊式壓合: 采用創新彈性氣囊,結合震蕩式壓合技術,實現對晶圓表面(尤其是高深寬比結

構,業界領先達1:20)的均勻、無損傷壓力施加,完美適應復雜形貌。

3.精密獨立控制: 熱、真空、壓力三大關鍵工藝參數獨立精準調控,為不同材料(PI, ABF, Dry Film等)與

復雜工藝提供高度靈活性和工藝窗口。

4.高效智能集成:

  • 內建自動化:集成自動切割、卷對卷(R2R)供收膜、撕膜系統,大幅提升效率,減少人工干預。

  • 快拆設計:氣囊與壓膜平臺模塊化快拆,顯著提升維護效率與生產連續性(UPH)。

  • 智能架構:智能化機臺設計,無縫對接工廠MES系統,實現生產數據可追溯與工藝優化。

5.廣泛兼容性: 成熟支持8寸/12寸硅片量產,上下腔體獨立加熱滿足多樣化工藝需求,適用多種先進封裝

材料和制程。


圖片 2.png


客戶價值:效率、良率、國產化的三重奏


屹立芯創真空貼壓膜系統,不僅是一項技術突破,更帶來可量化的生產效益:


  • 高良率保障: 真空無泡貼膜+均勻壓合,直接提升產品良率與長期可靠性,降低質量成本。

  • 智能化高效率: 高度自動化設計減少人工,快拆維護提升設備利用率,內部卷對卷及切割系統加速生產

  • 節拍。

  • 成熟穩定可靠: 系統經過嚴格驗證,成熟度高,整合產線能力強,保障連續穩定生產。

  • 國產化力量崛起: 成熟的國產高端裝備,提供穩定供應鏈保障和本土化高效服務支持。


屹立芯創:以“屹立器”鑄就“中國芯”


此次晶圓級真空貼壓膜系統的成功交付,是屹立芯創持續深耕先進封裝核心技術、勇攀科技高峰的縮影。

公司始終秉持“為中國芯造屹立器”的初心,致力于通過自主研發的高端智能裝備,解決產業核心痛點,

提升國產芯片制造的關鍵能力與競爭力。


在先進封裝技術飛速發展、國產替代浪潮澎湃的今天,屹立芯創以其創新的技術、可靠的設備和對高良率

的不懈追求,正成為推動中國半導體封裝產業向更高水平邁進的重要力量。選擇屹立芯創,即是選擇更高

良率、更高效率、更可靠的國產化先進封裝解決方案。

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