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晶圓級真空貼壓膜系統 全自動型 WVLA
除泡品類 | 成熟自動化量產設備，智能化機臺架構 實現真空后貼合+氣囊壓力壓合
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產品 特征
產品特征
  • 熱/真空和壓力參數獨立
  • 實現真空下貼膜
  • 彈性氣囊下壓合
  • 通過填充實現高深寬比
  • 8”/ 12”硅片制程式適用
  • 內部自動切割系統
  • 內部卷對卷系統
  • 成熟自動化設備
  • 填覆率極佳
  • 壓力均勻性高
產品優勢
  • 創新真空下貼壓膜技術
  • 創新軟墊氣囊式壓合技術
  • 快拆式設計（氣囊/壓膜平臺）
  • 上下腔體獨立加熱
  • 智能化機臺架構
  • 設備系統成熟度高
  • 整合產線設備能力強
  • 多種材料/工藝應用
產品 應用
  • WLCSP、RDL、 3D IC for uneven surface topography
  • PR / PI Film
  • NCF底部填膠
  • Mold Sheet
  • ABF
  • FAN-IN/OUT光阻膜貼合
  • RDL
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